真空测量是在低于一个标准大气压时,对气体或蒸气全压的测量。真空计是测量低于一个标准大气压的气体或蒸气压力的仪器。它由测量仪表、连接导线和传感器组成。测最101325~133.32Pa(760~1Torr)范围的压强可用压差真空计,而低于133Pa(1Torr)的则需利用气体的其他物理特性的真空计来测量。压力是一个力学量,为单位面积所承受的力。大气压力为101325Pa,直接测量这样大的压力是容易的,但在真空技术中,测量这样大的压力是比较少的。真空技术中遇到的气体压力都很低,如有时要测10-10Pa的压力,这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此,测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象,然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量,再设法间接确定出真实压力来。例如先将被测气体压缩,使其压力增高,测出增高后的压力,再根据压缩比计算出原来的压力值,这就是所谓的压缩式真空计。也可以用一根热丝,测量气体热传导造成的某些结果,如热丝温度、电阻变化等,这就构成热传导真空计。还可以利用电子碰撞气体分子使之电离,用测得的离子流反应压力,这就是电离真空计。
真空测量的分类有哪些?
被测气体除少数情况外,多为混合气体。上述压力测量是指混合气体全压力测量。在近代真空测量技术中,分压力测量越来越重要。这里所说的分压力测量是指全面地测出混合气体各组成成分的分压力。这样,混合气体的全压力就等于其各组成成分的分压力之和。
现代分压力真空计都属于电离类,即先将气体电离,然后将所得的各成分离子加速,再把离子引进分析器,将离子分开,分别测出各成分离子流强度,便可知气体的成分和数量,分析器有磁的、电的、电磁结合的和其他方式的。有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量,并不要求测出分压力值,这种仪器称为残余气体分析仪。
怎样测量真空度?
1、用绝对压力、绝对真空度表示的真空度。绝对压力表示的真空度一般采用的是绝压表测量,绝压表0点为绝对真空,所以一般暴露于空气中的绝压表显示的就是当地大气压力值。
2、用相对压力、相对真空度换算的真空度。一般这种情况就是通过的相对压力来表示的真空度。配置一块大气压力表,精密数字压力表,测量得到当地大气压力值,然后测量出相对当地大气压力值,然后测量出相对当地大气压力的相对压力。那么绝对真空度我们就需要考虑当地大气压和标准大气压的差值。然后计算得到绝对真空度。
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